华芯半导体申请气体质量流量验证系统的阀门容积确定方法及控制器专利有利于提高气体流量的计算准确度

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　　国家知识产权局信息显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请一项名为“气体质量流量验证系统的阀门容积确定方法及控制器”的专利，公开号CN121386929A，申请日期为2025年12月。

　　专利摘要显示，本申请实施例公开一种气体质量流量验证系统的阀门容积确定方法及控制器。方法包括：获取校准罐的第一容积校验参数；获取校准罐的第一气体仅扩散至第二容积的第二容积校验参数；获取校准罐的第一气体扩散至第三容积的第三容积校验参数；获取第四容积校验参数；获取第三容积的第二气体仅扩散至第二容积的第五容积校验参数；获取第三容积的第二气体扩散至第一容积的第六容积校验参数；基于第一容积及上述容积校验参数确定阀门容积。本申请实施例能够准确可靠地确定第二阀门的阀门容积及第四阀门的阀门容积，阀门的阀门容积不再被忽略，同时也不再被当成经验参数进行处理，如此有利于提高气体流量的计算准确度，从而满足半导体工艺的高精度要求。

　　天眼查资料显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2650万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市华芯半导体装备技术有限公司共对外投资了3家企业，财产线条，此外企业还拥有行政许可5个。

　　声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。